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실험실소개
나노재료소자실험실 (Nanomaterials & Device Lab.)    
지도교수 연구분야
이지면 교수 현재 나노기술분야 시장은 크게 성장하고 있으며 그에 따라 나노 소재들은 한 두 가지 특성을 개선시키는데 머무르지 않고, 다기능화 및 여러 특성의 개선에 대한 관심이 커지고 있습니다. 본 실험실은 GaN 기반의 LED의 효율 향상을 위하여 나노구조를 이용한 단위공정 기술개발에 대해 연구 하고 있고, 나노 구조체중 하나인 실리콘 나노와이어의 Bottom up 제조기술을 이용하여 태양전지 특성개선에 대해 연구하고 있습니다. 또한, 플라즈마 표면처리를 통한 TCO 박막의 특성 개선과 graphene의 hybridization을 통한 유기/유연 소자 개발에 대해 연구 중입니다.
1. Processing of GaN-based LEDs and LDs
- Plasma etching (N-polar/nonpolar/semipolar)
- Metallization
2. Materials processing of ZnO
- Etching (dry/wet)
- Metallization (ohmic/Schottky contact)
3. Top-down fabrication of nanostructures
- Photonic crystals (by laser holography)
- S/C nanostructure (by metal dewetting)
4. Bottom-up fabrication of nanostructure
- Si semiconductor Nanowire (Si by PECVD)
- Graphene growth (TCVD)
5. TCOs
- H2 plasma treatment (R2R deposited ITO/PET, spin-coated ITZO, Ti-doped InOx
- Ohmic contact
- Wet/dry etching
- Graphene/TCO hybridization process
연구장비 
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